知识星球里的学员问:铜互联中的大马士革工艺有几种?一直分不清,可以讲解下吗?
大马士革工艺用在哪里?
大马士革工艺(Damascene Process),使铜作为互连材料成为可能。铜相较于铝具有更低的电阻率,大大减少了信号延迟和功耗。但是铜不容易通过传统的干法刻蚀来刻蚀,因为铜在等干法刻蚀中难以产生挥发性副产物,所以一般只能用大马士革工艺来进行Cu互联填充。
大马士革工艺的基本步骤?
光刻==》刻孔==》介质沉积==》种子层沉积==》电镀
为什么大马士革工艺有单有双?
单大马士革工艺:通过一次刻蚀和填充工艺来形成的,即仅包含线条或仅包含通孔。
双大马士革工艺:是单大马士革工艺的升级版本,能够同时构建铜互连线和通孔。
什么时候用单,什么时候用双?
一般是第一金属铜层(M1)用单大马士革工艺,其他层用双大马士革工艺。